發(fā)布時(shí)間:2013-04-12 13:46:06點(diǎn)擊數(shù):1833次
一種制作濾光片的方法,可增加一半導(dǎo)體晶片上的一濾光片附著力并避免光線的跨越干擾現(xiàn)象;該方法是先于該半導(dǎo)體晶片上形成一介電層以覆蓋設(shè)于該半導(dǎo)體晶片上的MOS晶體管感測器;然后于該介電層上形成復(fù)數(shù)個(gè)金屬層約略設(shè)置于各MOS晶體管感測器兩側(cè)上方;接著形成一保護(hù)層,并于該保護(hù)層上形成一第一濾光片,其兩側(cè)與下方的兩該金屬層約略對齊;之后依序于該保護(hù)層上形成一第二濾光片以及一第三濾光片且分別部分相疊于該第一濾光片的一側(cè);其中各濾光片相疊的部分可以提高各該濾光片的附著力,同時(shí)形成一光線阻障層,以避免光線的跨越干擾紅外濾光片的作用就是透紅外光截止可見光。這樣即使在光線不好或沒有的情況下,相機(jī)仍然可以拍攝不過是黑白效果了。
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